洁净室的气流方式有哪些?【新景SUNKING】
2021-10-22 09:25:00
洁净室对气流要求非常高,新景小编将目前常见的几种气流方式整理如下,供您参考:
第一种,乱流式:空气由空调箱经风管与洁净室内的空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此形式适用于洁净室等级1000-100000级。
第二种,水平层流式:水平式空气由过滤器单方向吹出,由对边墙壁的回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
第三种,层流式:层流式空气气流运动成一均匀的直线型,空气由覆盖率100%的过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔板回风,此形式适用于洁净室等级需要较高的环境使用,一般的洁净室等级CLASS1-100。
第四种,垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高的洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其他工作区域。
第五种,复合式:复合式为将乱流式及层流式予以符合或并用,可提供局部超洁净的空气,即非单向流。
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